潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。
半導體車間凈化工程無塵車間施工的要求:
芯片生產車間無塵室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
1、電子制造廠房建設萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
4、電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給無塵車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。
